2

上副室

炉膛直径[mm]

Φ500 X1800高

3

下副室

炉膛直径[mm]

Φ500 X2500高

4

上传动

行程[mm]

2000

主轴转速[rpm]

0-30±1%

主轴直径[mm]

100

5

下传动

主轴行程[mm]

2600

主轴转速[rpm]

0-30±1%

主轴直径[mm]

100

内轴行程[mm]

340

6

平动组件

行程[mm]

±25

7

槽路组件

行程[mm]

530

8

反射环

行程[mm]

50

快速移动速度[mm/min]

20

9

预热环组件

行程[mm]

285

快速移动速度[mm/min]

100

10

制备外形

长X宽X高[mm]

6600X4200X14000

11

真空系统

真空度(mbar)

≤0.01

12

气路系统

进气压力[Ba]

5-12（推荐10）

生长气流量[L/min]

50

气体质量

C57-0305，等级4.8

13

冷却系统

进水压力[Ba]

4-6

进水温度[°C]

12-25

进水流量[L/min]

200

物理清洁度[mm]

0.38

14

电器

电源频率[Hz]

50或60

电压[VAc]

3X380

发生器输出功率(kW)

120KW

控制电源(Hz)

50或60

电压[VAc]

3X380

功率

10KW

进电电源整流滤波

有

控制系统

西门子S7-300

人机界面控制

Pro-face触摸屏

CCD监控系统

基恩士

上下传动移动驱动

Lenze驱动