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JZ-460/660（ G7半熔热场）多晶硅铸锭炉应用定向固化技术， 采用垂直梯度定向结晶工艺，通过加热器对温度进行精确控制， 有效地控制热量的输入和输出， 从而保证出色的产品质量。 可以在较低的温度梯度下工作， 在85个小时左右的时间生长出1200kg的硅锭。 在生长期间， 利用温度及隔热层的运动形成垂直温度梯度，实现定向晶体生长。 在装料和取硅锭的过程中， 只应用下炉室的升降方式。该炉型单位能耗小于6.5kW.h/kg。标准JZ-460/660（G5、G6）炉型只需通过热场升级便可实现G7炉型大投料量铸锭。
序号 |
项目与名称 |
参数 |
1 |
坩埚尺寸 |
1200*1200*520（1200kg） |
2 |
铸锭尺寸 |
1156*1156*385（1200kg） |
3 |
石墨电阻加热功率 |
200kw |
4 |
**极限温度 |
1575℃ |
5 |
全过程自动化控制循环时间 |
85 |
6 |
隔热钢笼升降行程 |
280mm |
7 |
设备占地 |
5160*4730*4960mm |
北京京运通科技股份有限公司
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