材料类型

220nm - 2500nm

中等纯度石英（天然或合成）

高纯度石英（可能为合成或熔融石英）

高硼硅玻璃（含硼氧化物）

主要成分

SiO₂（>99.99%）

SiO₂（>99.9%）

SiO₂（>99.9%）

SiO₂（约81%）、B₂O₃（约13%）

羟基含量

高（约1000 ppm）

低（约200 ppm）

低（通常<10 ppm）

低（<10 ppm）

热膨胀系数

0.55 × 10⁻⁶ /K（极低膨胀）

0.55 × 10⁻⁶ /K（极低膨胀）

热膨胀系数低

3.25 × 10⁻⁶ /K（低膨胀）

耐热性

极高（软化点约1700°C）

极高（软化点约1700°C）

极高，耐高温

较高（软化点约820°C）

透光范围

185 nm - 2500 nm

220 nm - 2500 nm

185nm - 2500nm

300 nm - 2500 nm

紫外透光性

优异（185 nm起透光率高）

较差（220 nm以下透光率低）

优异（耐酸碱腐蚀）

较差（300 nm以下透光率低）

红外透光性

较差（2.7 μm处受羟基吸收影响）

较好（2.7 μm处透光率较高）

优异（2.7 μm处透光率较高）

良好（2.7 μm处透光率较高）

化学稳定性

优异（耐强酸强碱）

优异（耐强酸强碱）

优异（耐强酸强碱）

良好（耐酸碱，但弱于石英）

机械强度

高

高

高

高

主要应用

紫外光学、激光器、半导体

可见光/红外光学、激光器窗口

三维封装、MEMS、光电子器件

光学窗口、实验室器皿、显示屏

材质

石英玻璃JGS1

直径

50.8mm

100mm

150mm

200mm

80*80 mm

152*152 mm

厚度

500μm

500μm

1000μm

1000μm

1000μm

2000μm

定位边

16mm

32.5mm

47.5mm

Notch

N/A

N/A

表面光洁度

S/D  20/10  60/40  80/50