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蓝宝石基氮化镓外延衬底Tempalte（2~8inch） | ||||
衬底直径 |
50.8mm |
100mm |
150mm |
200mm |
蓝宝石衬底厚度 |
430μm |
650μm |
1000μm |
1600μm |
蓝宝石衬底表面 |
FSS/PSS/NPSS |
FSS/PSS/NPSS |
FSS/PSS/NPSS |
FSS/PSS/NPSS |
蓝宝石衬底晶向 |
C-Plane |
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外延导电类型 |
N-type |
P-type |
UID |
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外延掺杂元素 |
Si-doping |
Mg-doping |
Undoped |
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外延层厚度 |
厚膜：3~5 μm ；薄膜：0.1~1 μm |
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外延层厚度均匀性 |
≤5% |
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外延层表面状态 |
RMS＜2nm |
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外延结构图 |
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江阴晶沐光电新材料有限公司
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