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碳化硅陶瓷载盘 | |
厚度 |
0.75mm |
直径 |
156mm |
气孔径 |
＜5 μm |
双面平面度 |
≤15 μm |
TTV |
≤3 μm,5点量测 |
平行度 |
≤15 μm |
翘曲度要求 |
90℃- 250℃ 宏观目视不翘曲变形 |
密度 |
1.8~2.4 g/cm3 |
气孔率 |
30%-50% |
抗折强度 |
≤65 Mpa |
热膨胀系数 |
7.5 （10-6/℃） |
透气性要求 |
空吸：真空度≥ -30 Kpa |
外观 |
1.全周去毛边，锐角倒钝 |
江阴晶沐光电新材料有限公司
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